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項目簡訊|廈門某半導(dǎo)體企業(yè)有機廢氣處理項目

由我公司中標(biāo)承建的廈門某半導(dǎo)體企業(yè)有機廢氣處理項目,已經(jīng)順利完成建設(shè)和調(diào)試,于2024年9月正式投入運行。該項目是我司首個半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理項目,由我司全面負(fù)責(zé)從設(shè)計、采購、制造到安裝、調(diào)試及售后服務(wù)等各個環(huán)節(jié),確保了整個過程的專業(yè)性和高效性。項目的順利竣工標(biāo)志著我司在環(huán)保技術(shù)領(lǐng)域的又一重要突破。


治理工藝

項目廢氣主要來源于清洗、CVD、光刻、濕法刻蝕、去膠及擴散等工藝。有機廢氣成分復(fù)雜,包含異丙醇、丙酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、N-甲基-2-吡咯烷酮等,并含有少量高沸點物質(zhì)和含硅有機物。為了有效應(yīng)對上述廢氣問題,本項目采用“高效過濾+沸石轉(zhuǎn)輪吸附+TO”工藝進行治理。本工藝廢氣處理效率超過95%,同時具有安全性高、運行穩(wěn)定、運行成本及故障率低、自動化程度高、運行管理方便等優(yōu)點。

治理效果

2024年9月有機廢氣凈化系統(tǒng)開始切入使用,投入既達滿產(chǎn)狀態(tài)。設(shè)備運行穩(wěn)定,處理效果良好,煙囪出口在線檢測系統(tǒng)所測得的非甲烷總烴濃度在5~10mg/m3范圍內(nèi),滿足 《廈門市大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》 (DB35/323-2018)中表1的排放標(biāo)準(zhǔn)。

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